azo圓筒靶材

主要技術(shù)指標(biāo)：

*化學(xué)成分：98wt.% zno,2wt.%al2o3或按用戶需要提供；

*純度：3n或4n；

*相對密度：≥99%；

*靶材電阻率：5×10—4ω·cm(表面電阻由于機加工等原因會明顯高于此值)；

*膜電阻率：采用射頻磁控濺射，基片加熱溫度220℃，在工藝條件下：2.17×10—4ω·cm；基片加熱溫度450℃，在工藝條件下：9.06×10—5ω·cm

*尺寸：內(nèi)徑100-150mm，外徑140-180mm，高150-250mm;

gzo圓筒靶材

主要技術(shù)指標(biāo)：

*化學(xué)成分：95wt.% zno,5wt.%ga2o3或按用戶需要提供；

*純度：3n或4n

*相對密度：≥99.5%或≥98%

*靶材電阻率：3.5×10—4ω·cm(表面電阻由于機加工等原因會明顯高于此值)。

*尺寸：內(nèi)徑100-150mm,外經(jīng)150-200mm，高150-250mm。