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傳感器技術(shù)所涉及的知識(shí)非常廣泛,滲透到各個(gè)學(xué)科領(lǐng)域。但是它們的共性是利用物理定律和物質(zhì)的物理、化學(xué)和生物特性,將非電量轉(zhuǎn)換成電量。所以如何采用新技術(shù)、新工藝、新材料以及探索新理論,以達(dá)高質(zhì)量的轉(zhuǎn)換效能,是總的發(fā)展途徑。
當(dāng)前,傳感器技術(shù)的主要發(fā)展動(dòng)向,一是開展基礎(chǔ)研究,發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象,開發(fā)傳感器的新材料和新工藝;二是實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化與智能化。
1.發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象
利用物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)和生物效應(yīng)是各種傳感器工作的基本原理,所以發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應(yīng)是發(fā)展傳感技術(shù)的重要的工作,是研制新型傳感器的重要基礎(chǔ),其意義極為深遠(yuǎn)。例如日本夏普公司利用超導(dǎo)技術(shù)研制成功高溫超導(dǎo)磁傳感器,是傳感器技術(shù)的重大突破,其靈敏度比霍爾器件高,僅次于超導(dǎo)量子干涉器件,而其制造工藝遠(yuǎn)比超導(dǎo)量子干涉器件簡(jiǎn)單,它可用于磁成像技術(shù),具有廣泛推廣價(jià)值。
2.開發(fā)新材料
傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),-由于材料科學(xué)的進(jìn)步,人們?cè)谥圃鞎r(shí),可任意控制它們的成分,從而可以設(shè)計(jì)制造出用于各種傳感器的功能材料,例如半導(dǎo)體氧化物可以制造各種氣體傳感器,而陶瓷傳感器工作溫度遠(yuǎn)高于半導(dǎo)體,光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感器材料的重大突破,用它研制的傳感器與傳統(tǒng)的相比有突出的特點(diǎn)。有機(jī)材料做為傳感器材料的研究,引起國(guó)內(nèi)外學(xué)者極大興趣。
3.采用微細(xì)加工技術(shù)
半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法如氧化、光刻‘、擴(kuò)散、沉積、平面電子工藝、各向異性腐蝕以及蒸鍍、濺射薄膜工藝都可引進(jìn)用于傳感器制造,因而制造出各式各樣新型傳感器.例如,利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出壓阻式傳感器,利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器,日本橫河公司利用各向異性腐蝕技術(shù)進(jìn)行高精三維加工,在硅片上構(gòu)成孔、溝棱、錐、半球等各種形狀,制作出全硅諧振式壓力傳感器。
4.研究多功能集成傳感器
日本豐田研究所開發(fā)出同時(shí)檢測(cè)na+、k+和h+等多離子傳感器。這種傳感器的芯片尺寸為2.5×o.5mm2,僅用一滴液體,如一滴血液即可同時(shí)快速檢測(cè)出其中na+、k+h+的濃度,對(duì)醫(yī)院臨床非常適用與方便。
催化金屬柵與mosfej相結(jié)合的氣體傳感器已廣泛用于檢測(cè)氧、氨、乙醇、乙烯一氯化碳等。
我國(guó)某傳感器研究所研制的硅壓阻式復(fù)合傳感器可以同時(shí)測(cè)量壓力和溫度。
5.智能化傳感器
智能傳感器是一種帶微處理器的傳感器,它兼有檢測(cè)、判斷和信息處理功能。其典型產(chǎn)品如美國(guó)霍尼爾公司的st-3000型智能傳感器,其芯片尺寸為3><4×2mm2,采用半導(dǎo)體工藝,在同一芯片上制作cpu.eppom和靜壓、壓差、溫度等三種敏感元件。
6.新一代航天傳感器研究
眾所周知,在航天器的各大系統(tǒng)中,傳感器對(duì)各種信息參數(shù)的檢測(cè),保證了航天器按預(yù)定程序正常工作,起著極為重要的作用。隨著航天技術(shù)的發(fā)展,航天器上需要的傳感器越來越多,例如,航天飛機(jī)上安裝3500支左右傳感器,對(duì)其指標(biāo)性能都有嚴(yán)格要求,如小型化、低功耗、高精度、高可靠性等都有具體指標(biāo)。為了滿足這些要求,必須采用新原理、新技術(shù)研制出新型的航天傳感器。
7.仿生傳感器研究
值得注意的一個(gè)發(fā)展動(dòng)向是仿生傳感器的研究,應(yīng)該給予高度重視,特別是在機(jī)器人技術(shù)向智能化機(jī)器人發(fā)展的今天。仿生傳感器就是模仿人的感覺器官的傳感器,即視覺傳感器、聽覺傳感器、嗅覺傳感器、味覺傳感器、觸覺傳感器等。目前只有視覺與觸覺傳感器解決的比較好,其它幾種遠(yuǎn)不能滿足機(jī)器人發(fā)展的需要。也可以說,至今真正能代替人的感覺器官功能的傳感器極少,需要加速研究,否則將會(huì)影響機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展。