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檢測效率較低，勞動強度大，檢測缺陷有疏漏，無法適應大批量生產制造；二是基于激光測量技術的檢測方法，該方法對設備的硬件要求較高，成本相應較高，設備故障率高，維護較為困難；三是基于機器視覺的檢測方法，這種方法由于檢測系統(tǒng)硬件易于集成和實現、檢測速度快、檢測精度高，而且使用維護較為簡便，因此，在芯片外觀檢測領域的應用也越來越普遍，是 IC 芯片外觀檢測的一種發(fā)展趨勢。