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上海
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フルヤ金屬宣布,位于北海道千歲市的新千歲工廠已于9月14日竣工。該項目設(shè)備投資約45億日元,將把用于半導(dǎo)體制造裝置的熱電偶(溫度傳感器)及高純度石英保護(hù)管的生產(chǎn)能力提升至原來的約2倍。工廠計劃于2026年秋季啟動運(yùn)行,2027年春季正式全面投產(chǎn)。

該公司自2010年在北海道設(shè)廠以來,一直將千歲工廠作為石英加工專業(yè)據(jù)點(diǎn)運(yùn)營。此次遷址擴(kuò)建歷時15年,旨在應(yīng)對人工智能與數(shù)據(jù)中心擴(kuò)張帶來的先進(jìn)半導(dǎo)體市場需求增長。

半導(dǎo)體制造中的擴(kuò)散爐常用于晶圓氧化與熱擴(kuò)散處理,爐內(nèi)溫度常超1000℃。為實現(xiàn)晶圓面內(nèi)均勻處理,需高精度測量與控制溫度。フルヤ金屬生產(chǎn)的貴金屬熱電偶利用溫差電壓原理測溫,適用于高溫環(huán)境;高純度石英保護(hù)管則用于隔絕高溫與爐內(nèi)氣氛,對耐污染純度及加工精度要求極高。新工廠建設(shè)旨在集中擴(kuò)展此類核心部件的生產(chǎn)功能。

新工廠占地15061.16平方米,建筑面積6413.45平方米,已按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置無塵室。集團(tuán)將構(gòu)建從素線制造到成品組裝的一貫生產(chǎn)體制:茨城工廠采用獨(dú)有“R-SP制法”生產(chǎn)高強(qiáng)度長壽命熱電偶素線;新千歲工廠負(fù)責(zé)高純度石英加工,并與素線組裝為成品。該體制可強(qiáng)化品控,并通過兩廠產(chǎn)能共享完善業(yè)務(wù)連續(xù)性計劃(BCP),在單廠因災(zāi)害或故障停擺時保障持續(xù)供應(yīng)。

同時,新千歲工廠擬與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商聯(lián)合開發(fā)提升熱效率的部件及降低耗電量的熱管理設(shè)備,以支持客戶節(jié)能需求,推動半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的脫碳化進(jìn)程。

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