日本安立公司（Anritsu）正式發(fā)布新一代矢量網(wǎng)絡分析儀Tensor，面向高頻、高精度射頻測量需求升級。該設備已在法國巴黎舉辦的歐洲微波周（EuMW）上首次公開展示，并同步啟動全球供貨。Tensor并非簡單迭代，而是重構硬件架構與數(shù)據(jù)處理邏輯的平臺級產(chǎn)品，重點覆蓋54 GHz至220 GHz毫米波及亞太赫茲頻段——這一區(qū)間正成為6G通信原型驗證、衛(wèi)星通信終端、車載雷達芯片和先進封裝射頻模塊的關鍵測試窗口。

Tensor的核心突破在于其‘單端口專用信號源’（dedicated source per port）硬件設計：每個測試端口均配備獨立合成信號源，徹底規(guī)避傳統(tǒng)VNA共用本振帶來的相位耦合誤差與校準復雜度。配合全新開發(fā)的AI驅(qū)動測量引擎，可自動識別被測器件（DUT）類型并動態(tài)優(yōu)化掃描步進、功率電平與平均次數(shù)，在保持±0.005 dB幅度精度與±0.1°相位精度前提下，將典型S參數(shù)掃描速度提升3倍以上。其數(shù)據(jù)吞吐能力達2.4 GB/s，支持實時保存原始I/Q數(shù)據(jù)流，滿足寬帶調(diào)制信號建模與非線性行為分析需求。

硬件平臺采用模塊化設計，基礎機型支持4端口配置，通過軟件授權即可擴展至8端口；毫米波擴展依賴緊湊型mmWave模塊，目前提供54–70 GHz、110–170 GHz及170–220 GHz三組頻段選件，各模塊均通過IEC 61000-4-3輻射抗擾度認證，適配潔凈室與EMC實驗室環(huán)境。Tensor標配Windows 11嵌入式系統(tǒng)與Python API接口，兼容Keysight PathWave、NI AWR等主流EDA工具鏈，支持用戶自定義腳本實現(xiàn)批量校準、多器件并行測試及產(chǎn)線SPC統(tǒng)計過程控制。值得注意的是，其校準套件已通過NIST可溯源認證，且支持TRL/LRM等多種校準算法，降低毫米波探針臺對接門檻。

毫米波芯片研發(fā)與量產(chǎn)測試的實際適配點

Tensor直接切入當前中國射頻產(chǎn)業(yè)鏈的高頻瓶頸環(huán)節(jié)。國內(nèi)毫米波雷達芯片廠商在77/79 GHz車載雷達量產(chǎn)導入階段，普遍面臨傳統(tǒng)VNA在110 GHz以上頻段動態(tài)范圍不足（＜90 dB）、校準重復性差（＞0.02 dB峰峰值波動）等問題。Tensor在170 GHz頻點實測動態(tài)范圍達110 dB，且支持片上探針（on-wafer probing）直連模式，可減少轉接損耗引入的測量偏差。對封裝級測試而言，其220 GHz上限覆蓋了硅基GaN HEMT器件的三次諧波測試需求，有助于識別高頻寄生效應。對于正在布局太赫茲通信的科研院所，Tensor的亞THz模塊為0.22–0.33 THz頻段預研提供了可復現(xiàn)的S參數(shù)基準平臺。

采購與集成需關注的三項硬約束

中國用戶在評估Tensor時需重點關注三點：一是mmWave模塊為獨立外置單元，需預留≥400 mm × 300 mm機柜空間及雙路100 W供電接口；二是220 GHz頻段測試必須搭配Anritsu原廠GSG探針（型號MS46122B），國產(chǎn)替代探針尚未完成全頻段SOLT校準驗證；三是Tensor不兼容舊版Anritsu MA系列校準件，需單獨采購新規(guī)格機械校準套件（含220 GHz標準負載與開路器），單套成本約人民幣18萬元。

• 確認待測器件Zui高工作頻率是否落入Tensor三組mmWave模塊覆蓋區(qū)間（54–70/110–170/170–220 GHz），避免跨頻段拼接導致的相位跳變
• 若用于晶圓級測試，須提前與Anritsu中國技術支持確認探針臺接口協(xié)議（如Cascade Summit或MPI TS200）的固件兼容版本
• 產(chǎn)線部署前需驗證Tensor Python API與現(xiàn)有MES系統(tǒng)的數(shù)據(jù)字段映射關系，尤其關注S參數(shù)文件格式（Touchstone v2.0 vs v3.0）與時間戳精度（μs級）要求

法國作為歐洲射頻測試設備重要應用市場，其航空航天企業(yè)（如空客防務與航天部門）及半導體研究機構（CEA-Leti）已將Tensor納入下一代Ka波段衛(wèi)星載荷與SiGe BiCMOS工藝表征流程。對中國出口型企業(yè)而言，Tensor的NIST可溯源校準能力與IEC 61000-4-3認證，可直接支撐CE/UKCA電磁兼容報告出具，縮短歐盟市場準入周期。目前Tensor在中國由安立上海分公司提供本地化服務，基礎機型交付周期為12–14周，mmWave模塊需額外加訂8周。